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高純度、高性能エッチング液

電子工業用高純度薬品

シリコンウエハのエッチングや洗浄 当社では、不純物をppb(10億分の1)レベル以下に抑えた電子工業用高純度薬品(EL薬品)を製造しております。
 EL薬品(硝酸、混酸、安水、Siウエハエッチング液、Alエッチング液)は、半導体製造工程におけるシリコンウエハのエッチングや洗浄、液晶パネル製造工程における配線加工等に用いられます。
 また、特に当社開発Siエッチング液についてはスピンエッチング装置用として、ウエハ−表面処理用途別に薬液を多数ラインアップしております。
 加えて、太陽電池用エッチング液についても提供可能です。多結晶シリコンウエハについて、従来に比較して高いエネルギー変換効率が得られるテクスチャ形成が可能です。

用 途

分子構造

種 類

高純度硝酸
高純度混酸
高純度安水
Siウエハエッチング液 詳しくはこちら
ALエッチング液
分子構造

以下の商品についてはお問い合わせ下さい。
高純度硝酸 EL硝酸 高純度混酸 EL混酸 高純度安水 EL安水 ALエッチング液 液晶用アルミエッチャント

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